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研究了以氮化鋁為基板的倒扣封裝的工藝。詳細(xì)比較了氮化鋁的各種金屬化工藝。分別研究化學(xué)鍍與激光誘導(dǎo)淀積實(shí)現(xiàn)金屬化的方法。測量表明兩種方法制備的金屬層與氮化鋁的粘附力均大于 10 MPa。同時(shí)對(duì)這兩種方法的特點(diǎn)與適用范圍進(jìn)行概述
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鋁合金材料硬度和強(qiáng)度低,當(dāng)型腔較深時(shí)加工過程中易發(fā)生粘刀和斷刀現(xiàn)象。十字型筋板薄而長,型腔內(nèi)壁多處是倒扣面,加工中又極易產(chǎn)生變形。文中針對(duì)該薄壁倒扣零件的特點(diǎn),用高端CAM軟件UGNX7.5對(duì)其加工思路和工藝的編制進(jìn)行了詳細(xì)的分析,并運(yùn)用多軸(五軸)加工對(duì)倒扣面實(shí)行了粗加工和精加工,保證了零件尺寸精度和表面粗糙度。
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