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為了實(shí)現(xiàn)光學(xué)零件厚度的非接觸測量,設(shè)計(jì)了一種基于電光掃描的非接觸測量方法。采用電掃描技術(shù)控制光開關(guān),形成半徑依次減小的環(huán)狀光束,經(jīng)過錐透鏡后在光軸上形成連續(xù)移動的光點(diǎn),當(dāng)光點(diǎn)瞄準(zhǔn)待測光學(xué)零件表面時(shí),反射能量出現(xiàn)峰值,即定位了待測零件的表面,進(jìn)而獲得光學(xué)零件的幾何厚度。建立了測量平板零件厚度和透鏡中心厚度的數(shù)學(xué)模型;從理論上探討了該方法的測量范圍和測量精度。結(jié)果表明:設(shè)定錐面鏡口徑為100mm,材料折射率為1.52,當(dāng)錐面鏡的錐角從1°變化到40°時(shí),測量動態(tài)范圍可以從5507mm變化到26mm;當(dāng)測量范圍為26mm時(shí),測量精度可以達(dá)到2.5μm。該方法可基本滿足目前光學(xué)零件中心厚度的測量需求。