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用測試抗彎強(qiáng)度的方法測定了氮?dú)夥障轮崩?NCZ-Si)棒軸向機(jī)械強(qiáng)度分布。與紅外分析結(jié)果比較表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 對(duì)的濃度對(duì)硅棒強(qiáng)度分布起著比間隙氧更重要的作用。碳濃度達(dá)2×10~(17)cm(-3)時(shí),對(duì)硅棒強(qiáng)度無顯著影響。
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用測試抗彎強(qiáng)度的方法測定了氮?dú)夥障轮崩?NCZ-Si)棒軸向機(jī)械強(qiáng)度分布。與紅外分析結(jié)果比較表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 對(duì)的濃度對(duì)硅棒強(qiáng)度分布起著比間隙氧更重要的作用。碳濃度達(dá)2×10~(17)cm(-3)時(shí),對(duì)硅棒強(qiáng)度無顯著影響。
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