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大氣壓磁驅動滑動弧放電能產(chǎn)生具有約束性能較好的非平衡等離子體 ,在微電子工業(yè)、環(huán)境工程等領域有廣泛的應用前景。利用磁導法對此裝置進行了磁路設計 ,得出了磁感應強度、磁體厚度、氣隙長度三者之間的解析表達式。所得出的結果與有限元分析結果進行了比較 ,偏差約為 3 1% ,但磁導法簡捷方便 ,通用性強 ,經(jīng)濟性好 ,是一種更為可靠而實用的工程算法
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