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光刻工藝中對熱板表面溫度場均勻性有極高要求,在熱板設計參數選擇問題上,通過使用通用旋轉組合設計的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設計參數情況下的熱板表面溫度場均勻性數據。對仿真結果數據進行回歸建模,回歸模型計算結果與仿真結果有較高的一致性。結果表明,熱板設計參數可以根據該回歸模型來選擇。
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石家莊鐵道大學四方學院畢業(yè)設計 1 石家莊鐵道大學四方學院畢業(yè)設計 2014屆 交通工程 系 專 業(yè) 交通工程 學 號 20105786 學生姓名 朱 嶺 指導教師 張 聚 昆 完成日期 2014年 5月 日 高速公路路面結構組合設計 Highway pavement structure combination design 石家莊鐵道大學四方學院畢業(yè)設計 2 畢業(yè)設計成績單 學生姓名 張立偉 學號 20105781 班級 方 1004-3 專業(yè) 交通工程 畢業(yè)設計題目 高速公路路面結構設計與計算 指導教師姓名 張聚昆 指導教師職稱 工程師 評 定 成 績 指導教 師 得 分 評閱人 得 分 答辯小 組組長 得 分 成績： 系主任 簽字： 年 月 日 石家莊鐵道大學四方學院畢業(yè)設計 3 題 目 高速公路路面結構組合設計 適用專業(yè) 交通工程 班 級 方 1004-3 學生姓名 朱
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