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凸非球面檢驗(yàn)是光學(xué)檢驗(yàn)中一個(gè)比較困難的問題。結(jié)合一塊Φ110mm的凸雙曲面鏡,在分析幾種傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法的基礎(chǔ)上,提出了一種用透鏡組補(bǔ)償檢驗(yàn)凸非球面的新方法。令球差系數(shù)∑S1=0,用三級(jí)像差理論求解光學(xué)系統(tǒng)的初始結(jié)構(gòu),并通過Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)初始結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,克服了傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法的缺點(diǎn)和不足。從設(shè)計(jì)結(jié)果可以看出,系統(tǒng)的像差得到了很好的校正,使得凸雙曲面達(dá)到了很高的檢驗(yàn)精度,從而使非球面的檢驗(yàn)更加方便。
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