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更新時(shí)間：2025.06.14
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通過(guò)對(duì)幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造，用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫（ＩＴＯ）膜，并對(duì)其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。
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由東北大學(xué)張以忱主編的真空工程技術(shù)叢書：《真空鍍膜技術(shù)》和《真空鍍膜設(shè)備》兩書由冶金工業(yè)出版社出版發(fā)行。《真空鍍膜技術(shù)》主要內(nèi)容：薄膜基礎(chǔ)理論、真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空卷繞鍍膜技術(shù)、真空化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入與離子輔助沉積技術(shù)、
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專題概述
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