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第 1 頁 共 5 頁 行業(yè)資料： ________ 角向砂輪機(jī)安全操作規(guī)程 單位： ______________________ 部門： ______________________ 日期： ______年_____月_____日 第 2 頁 共 5 頁 角向砂輪機(jī)安全操作規(guī)程 1、使用前檢查角向砂輪機(jī)的各部件是否完好，所有大小零件都需 安裝正確并符合規(guī)定。 2、檢查電源線與插頭是否完好，不準(zhǔn)使用電源線受損的角向砂輪 機(jī)。 3、角向砂輪機(jī)不可弄濕，也不可在潮濕的環(huán)境使用。砂輪機(jī)手柄 應(yīng)保持干燥，無損壞和裂紋。 4、在工作間隙不使用角向砂輪機(jī)或?qū)ι拜啓C(jī)做任何換修的工作時(shí)， 一定要拔出電源插頭。 5、確認(rèn)角向砂輪機(jī)開關(guān)已關(guān)閉才可插上電源插頭。使用后拔出插 頭，不準(zhǔn)握著電源線提起砂輪機(jī)。 6、工作時(shí)將電源線放置于角向砂輪機(jī)的后端。防止電源線被高速 旋轉(zhuǎn)的砂輪片損壞而觸電。 7、砂輪片
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MEMS器件、保護(hù)電路、空間太陽電池等的制作需要使用硅雙面拋光片,并且要求拋光片的厚度很薄,傳統(tǒng)的硅拋光片加工工藝已經(jīng)不能滿足這一要求。介紹了一種用于超薄硅單晶雙面拋光片加工的拋光工藝方法。通過對(duì)硅片拋光機(jī)理[1]、拋光方式、拋光工藝的研究和對(duì)拋光工藝試驗(yàn)結(jié)果的分析,解決了超薄硅單晶雙面拋光片在加工過程中碎片率高、拋光片背面表面質(zhì)量不易控制的技術(shù)難題,研制出了高質(zhì)量的超薄硅單晶雙面拋光片。
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